室 英夫/編著 -- 技術評論社 -- 2009.8 -- 501.22

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
館内 地下書庫 /501.2/ム09/ 915887016 一般 利用可

資料詳細

タイトル マイクロセンサ工学
書名カナ マイクロセンサ コウガク
叢書名 現場の即戦力
著者 室 英夫 /編著, 藍 光郎 /著, 石垣 武夫 /著, 石森 義雄 /著, 岡山 努 /著  
著者カナ ムロ,ヒデオ    アイ,ミツオ    イシガキ,タケオ    イシモリ,ヨシオ    オカヤマ,ツトム     
出版者 技術評論社
出版年 2009.8
ページ数 12,234p
大きさ 21cm
一般件名 センサ
NDC分類 501.22
内容紹介 センサの基本的な分類と各種変換効果、MEMSセンサを製造するためのマイクロマシーニング技術、各センサに共通の信号処理回路を解説するほか、「光センサ」「機械量センサ」「流体センサ」など、センサ各論も収録する。
ISBN 4-7741-3904-3
ISBN13桁 978-4-7741-3904-3