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薄膜作成の基礎 貸出可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 1996.3 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
館内 地下書庫 /549.8/ｱ96/ 913599423 一般 利用可

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タイトル 薄膜作成の基礎
書名カナ ハクマク サクセイ ノ キソ
著者 麻蒔 立男 ／著  
著者カナ アサマキ,タツオ 　   
版表示 第3版
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1996.3
ページ数 357,4p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜 , 真空技術
NDC分類 549.8
内容紹介 前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。1977年刊の第3版。
ISBN 4-526-03831-8

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